对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护次数尽 可能少和振动低的应用,STP磁悬浮涡轮分子泵是首选泵。多 轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态,消 除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏 的风险,同时将噪声和振动降至最低。 STP磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有极 高的声誉,并且是许多最具挑战性的半导体应用的首选分子 泵。对于实验室应用,STP磁悬浮涡轮分子泵极为可靠,并且 超长时间运行而无需维护。
nEXT涡轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混 合轴承涡轮分子泵,抽速的范围为47 ls-1至400 ls-1。它们全部 使用永磁上轴承,能够消除转子顶部的碳氢化合物,同时使 用油润滑下轴承,实现可靠的高速操作。 机载控制器与TIC和TAG控制器直接通讯,可提供低成本系统 集成。nEXT型号还允许用户自主更换轴承和油盒,以降低运 行成本。
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