nEXT涡轮分子泵

nEXT涡轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混 合轴承涡轮分子泵，抽速的范围为47 ls-1至400 ls-1。它们全部 使用永磁上轴承，能够消除转子顶部的碳氢化合物，同时使 用油润滑下轴承，实现可靠的高速操作。 机载控制器与TIC和TAG控制器直接通讯，可提供低成本系统 集成。nEXT型号还允许用户自主更换轴承和油盒，以降低运 行成本。