Stokes 6” 系列 - 罗茨泵 Stokes 6” 系列采用坚固的设计,可实现稳健可靠的运行。其排量为 1040 至 6630 m3h-1 ,可根据客户需求进行配置: 裸轴或直驱型,1800‑3600 rpm,垂直或水平气流,带有旁路。
Edwards IDX 真空泵旨在降低能源成本、清除废水并显著提高产品质量,使其成为脱气、镀膜和冶金等多种工艺的理想选择。
峰值抽速 210 -480 m³/h 极限真空 0.01 mbar 第四代“Quimby”变径变距螺杆技术 • 适合苛刻工艺,可抽取可凝蒸汽/腐蚀性气体/含粉尘气体 • 带温控阀 • 气体吹扫系统 • 三级轴封技术+轴封吹扫,成熟可靠 • 气浮球阀设计,高压抽速稳定
峰值抽速 160-750 m³/h 极限真空 0.005 mbar • 螺杆泵+罗茨泵泵组 峰值抽速 1200-3450 m³/h 极限真空 0.0005 mbar
对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护次数尽 可能少和振动低的应用,STP磁悬浮涡轮分子泵是首选泵。多 轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态,消 除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏 的风险,同时将噪声和振动降至最低。 STP磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有极 高的声誉,并且是许多最具挑战性的半导体应用的首选分子 泵。对于实验室应用,STP磁悬浮涡轮分子泵极为可靠,并且 超长时间运行而无需维护。
nXDS干式涡旋泵具备出色的抽气能力、极限真空性能和最先 进的设计特性,性能居同类产品之首。 nXDS泵在其他涡旋泵的基础上进行优化,提高了抽速,获得 了更高极限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可 冷凝蒸气(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS泵还采 用了最新的端面密封技术,显著延长了端面密封条更换的时 间间隔。 nXDS-C是改进型,更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质 的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz®内阀以及不 锈钢材料。nXDS-R型不带气镇,因此它不能被突然打开。它 可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。
Edwards EOSi 系列是新一代静音系列油封螺杆变频真空泵 凭借变频驱动 (VSD) 技术和智能控制,EOSi 系列可提供令人印象深刻的可调抽 气性能和最优化的运行能耗。获得专利的高效油气分离器设计可延长保养时间 间隔并降低维护成本。温度管理控制可实现无与伦比的水蒸汽处理能力,为您 提供应用所需的多样性和灵活性。
nEXT涡轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混 合轴承涡轮分子泵,抽速的范围为47 ls-1至400 ls-1。它们全部 使用永磁上轴承,能够消除转子顶部的碳氢化合物,同时使 用油润滑下轴承,实现可靠的高速操作。 机载控制器与TIC和TAG控制器直接通讯,可提供低成本系统 集成。nEXT型号还允许用户自主更换轴承和油盒,以降低运 行成本。
nES系列 新一代单级旋片泵 Edwards nES系列是新一代单级油封旋片式真空泵,适用于广泛工业真空应用领域。 nES系列具有卓越性能、高可靠性和低使用成本的优点,是满足广泛工业真空应用需 求的理想解决方案。
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