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  FCL系列爪式真空泵

  FCL无油爪式系列真空泵，是一种转子为爪型的变容式无接触干式真空泵。

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• Stokes 6” 系列 - 罗茨泵

  Stokes 6” 系列 - 罗茨泵 Stokes 6” 系列采用坚固的设计，可实现稳健可靠的运行。其排量为 1040 至 6630 m3h-1 ，可根据客户需求进行配置： 裸轴或直驱型，1800‑3600 rpm，垂直或水平气流，带有旁路。

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• IDX 干式螺杆真空泵

  Edwards IDX 真空泵旨在降低能源成本、清除废水并显著提高产品质量，使其成为脱气、镀膜和冶金等多种工艺的理想选择。

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• EDS 螺杆式干泵

  峰值抽速 210 -480 m³/h 极限真空 0.01 mbar 第四代“Quimby”变径变距螺杆技术 • 适合苛刻工艺，可抽取可凝蒸汽/腐蚀性气体/含粉尘气体 • 带温控阀 • 气体吹扫系统 • 三级轴封技术+轴封吹扫，成熟可靠 • 气浮球阀设计，高压抽速稳定

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• GXS 螺杆泵

  峰值抽速 160-750 m³/h 极限真空 0.005 mbar • 螺杆泵+罗茨泵泵组 峰值抽速 1200-3450 m³/h 极限真空 0.0005 mbar

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• STP磁悬浮涡轮分子泵

  对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护次数尽 可能少和振动低的应用，STP磁悬浮涡轮分子泵是首选泵。多 轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态，消 除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏 的风险，同时将噪声和振动降至最低。 STP磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有极 高的声誉，并且是许多最具挑战性的半导体应用的首选分子 泵。对于实验室应用，STP磁悬浮涡轮分子泵极为可靠，并且 超长时间运行而无需维护。

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